ion beam assisted deposition相关论文
利用TEM,AES,XPS和EDAX方法,对用离子束辅助技术在多种钢基体上沉积的MoS2-Ta复合自润滑膜的形态、结构和组成进行观察和分析发现,膜在沉积过程中已产生部分......
用离子束辅助沉积技术在GCr15钢基体上形成了TiCxNy膜TEM观察揭示,膜呈多晶结构,具有(111),(200)和(220)择优取向,AES和XPS分析进一步证实,TiCxNy膜呈含氧配置,膜的硬度和摩擦特性与......