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非晶硅薄膜的激光晶化及深度剖析喇曼光谱研究

利用共焦显微喇曼光谱仪,对采用PECVD方法制备的非晶硅薄膜进行了退火晶化.晶化后薄膜的喇曼光谱表明,薄膜由非晶硅结构转变为微晶......

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非晶硅薄膜激光晶化深度剖析喇曼光谱共焦显微喇曼光谱仪 PECVD 退火晶化制备 nano-μc-silicon confocal Raman mic

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