激光晶化相关论文
化学镀技术因其工艺简单、操作方便,镀层具有良好的耐磨性、耐蚀性、镀层厚度均匀性、致密度高等优良特点,在机械、航空航天、石油......
学位
以单晶硅(111)为衬底,以等离子体增强化学气相沉积技术制备的非晶硅薄膜为前驱物,采用YAG激光晶化技术实现从非晶硅薄膜到纳米晶硅......
作为一种新兴能源载体，太阳能电池以其优秀的环保性、高效率、取之不尽等诸多优点，在军事、航天、航空等领域及民用方面得到广泛应用......
半导体硅材料是可大规模应用于太阳能电池的首选材料，硅基太阳能电池一直是光伏产业发展的主流产品。但由于晶体硅的光学带隙为1.1e......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
采用两步激光晶化方法制备了多晶硅薄膜 ,其晶粒尺寸达到 1 .1 μm.分析了在不同激光功率密度下 ,由两步激光晶化方法所制备的多晶......
以射频（频率为13．6MHz）磁控溅射系统制备的非晶硅薄膜为前驱物，采用激光晶化技术实现从非晶硅薄膜到纳米晶硅薄膜的相变过程。采用拉曼......
利用准分子激光干涉结晶法使a Si∶H/a SiNx∶H多层膜中的超薄a Si∶H层定域晶化 ,成功地制备出三维有序分布的nc Si阵列。原子力......
利用KrF准分子激光退火超薄非晶硅膜,并结合热退火技术制备了单层纳米硅薄膜并研究了薄膜的场电子发射性质.在晶化形成的纳米硅薄......
在CO2激光散光斑直径20mm的情况下,分别选择在不同功率静置的条件下辐照Fe78Si9B13非晶带实现部分晶化.用穆斯堡尔谱、X射线衍射和......
利用共焦显微喇曼光谱仪,对采用PECVD方法制备的非晶硅薄膜进行了退火晶化.晶化后薄膜的喇曼光谱表明,薄膜由非晶硅结构转变为微晶......
采用两步激光晶化技术获得了多晶硅薄膜，分析计算了激光晶化时薄膜中的温度分布及表面温度与激光功率密度的关系，利用计算结果并优化......
论述了非晶硅薄膜的主要再结晶技术,包括传统的炉子退火、金属诱导晶化、微波诱导晶化、快速热退火和激光晶化.着重指出了各种晶化......
为了减低非晶硅薄膜太阳能电池的光致衰减效应和提高其光电转换效率，用等离子体化学气相沉积系统制备了本征非晶硅薄膜，用波长为248n......
用XRD定量分析法研究化学沉积非晶态Ni-W-P合金激光晶化前后的显微组织特征。通过硬度测试、磨损实验、金相和SEM研究镀层的磨损行......
用XRD定量分析法并结合扫描电镜形貌观察,研究化学沉积高磷（13.3%）含量的Ni-W-P镀层在不同热处理条件下的晶化程度、晶粒尺寸及晶格......
对氢化非晶硅(a—Si：H)进行了脱氢和不同能量密度的准分子激光晶化多晶硅的实验，对所得样品用X射线衍射表征．针对多晶硅(111)面特征峰......
使用适当近似从理论上给出了共焦显微拉曼光谱仪的纵向仪器响应函数. 针对相对薄(几个μm)的样品(诸如半导体薄膜材料)给出了一个......
报道了采用YAG脉冲激光器对硅基薄膜进行晶化制备多晶硅的实验结果，其中主要针对以PECVD法制备的不同硅基薄膜（如非晶硅和微晶硅）为晶......
结合激光退火与常规热退火方法对超薄非晶硅层作用,在绝缘衬底上获得了高密度的、均匀的单层纳米硅结构.所得样品通过原子力显微镜......
利用等离子增强化学气相沉积系统制备了本征非晶硅薄膜,并选用488nm波长的连续激光进行晶化.采用喇曼测试技术对本征非晶硅薄膜在......
本文主要研究激光退火对镀层硬度的影响。采用Jade软件对镀层中的晶化程度、晶粒尺寸及微应变进行定量分析,利用维氏显微硬度计测......
根据热传导原理，建立了脉冲激光晶化非晶硅薄膜的理论模型。运用有限差分方法研究了不同激光波长、能量密度等因素对薄膜温度变化及......
用CO2连续激光在不同功率、相同的速度条件下辐照Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9非晶带,然后用穆斯堡尔谱详细研究材料的微观结构.研究发现......
使用355 nm YAG皮秒脉冲激光对250 nm厚的非晶硅薄膜进行激光晶化的研究,并利用金相显微镜、拉曼光谱和X射线能谱（EDS：energy disper......
利用倍频Nd∶YAG激光器使玻璃基底上沉积的非晶硅薄膜成功实现了晶化。YAG激光器的倍频绿光经蝇眼透镜阵列整形后得到一光强均匀分......
期刊
采用PECVD工艺在普通玻璃衬底上制备非晶硅薄膜,用波长为532nm的倍频Nd：YAG激光对非晶硅薄膜的表层进行了晶化。研究了激光能量密度......
采用等离子体化学气相沉积技术制备了两种不同非晶硅层厚度的氮化硅/氢化非晶硅/氮化硅三明治结构,研究了不同能量激光退火对薄膜......
研究了一种非晶硅薄膜的激光低损伤晶化工艺方法,通过在非晶硅薄膜上淀积氮化硅薄膜方法研究激光退火改善非晶硅薄膜的质量。实验......
尝试用激光晶化法制备纳米双相Nd2Fe14B/Fe3B永磁体.Nd4.5Fe77B18.5快淬非晶薄带经过扫描速度为100～480mm/min激光扫描后,薄带的非......
激光晶化是一种制作晶硅薄膜器件(如薄膜晶体管、太阳能电池)很有效的技术。展望了低温多晶硅薄膜的应用前景,详细介绍了近几年激......
多晶硅薄膜由于具有较高的载流子迁移率和良好的光电性能,广泛应用于集成电路及光电器件中,尤其在太阳电池领域引起了广泛关注。多......
近年来,随着可持续发展,环境保护等观念的深入人心,以及常规化石能源的日渐枯竭,开发新能源和可再生清洁能源成为21世纪最具决定影......
本文研究Zr基非晶复合涂层的激光熔覆工艺，并借助光学显微镜、扫描电镜、透射电镜、能谱仪、X射线衍射仪、显微硬度计及DPPM静动摩......
硅基光子学和硅基单片光电集成是当前的研究热点和前沿课题之一,其中如何实现基于硅基材料的高效光源问题一直是一个亟待解决的极......
随着半导体电子器件集成程度逼近量子隧穿的尺寸极限,维持摩尔定律已面临严重挑战。硅基光子学器件由于其更快速,更稳定,更低能耗......
太阳能电池的发明与应用为缓解能源危机和环境污染起到了巨大作用，在众多种类的太阳能电池中，硅基太阳能电池占据了主体地位，原因在于......
