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磁控反应溅射Ni—Cr选择性吸收薄膜
以铜和镍铬合金为靶材,用磁迭反应溅射法制备具有干涉效应的Ni-Cr选择性吸收薄膜,用AES,TEM研究薄膜的结构和组成。结果表明,薄膜由10nm大小的颗粒组成......
期刊
磁控反应溅射
选择性吸收
太阳吸收比
薄膜
magnetronreactivesputtering
solarselectiveabsorbingsurface
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