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由稳态 时粒子数和电 流连续性方程 及带 电粒 子的 能量 平衡 方程, 建立 了α型 平板 R F 放电等离子体的 理论模型,并用数 值方法 ......
由稳态时粒子数和电流连续性主带电粒子的能量平衡方程,建立了α型平板RF放电等离子体的理论模型,并用数值方法求得射频放电等离子体中......
根据射频放电中电流连续性方程、稳态时电子数密度的连续性方程以及电子的能量平衡方程,建立了气体放电氧碘激光器中α型射频放电等......