主动减振系统相关论文
主动减振系统是精密制造、测量装备实现精度生成的必要保障，精密减振系统要处理的微振动具有频带宽、微幅值、来源复杂的特点，给精密......
随着超精密加工设备精度的不断提高，对加工环境的要求也越发苛刻，对振动的要求便是其中非常重要的一项。相比于传统的被动隔振方式，主......
振动、温度和污染构成了超精密加工的三个主要影响因素。振动在加工领域几乎无处不在。尤其在高速高精加工场合，振动更是成为了影响......
随着精密制造和加工、精密光电装备以及航空航天等相关领域的发展，人们对系统结构的稳定性和测量加工的精度提出更严格和苛刻的要求......
根据光刻机主动减振技术的发展趋势和应用特点,对一种用于隔离光刻机地基振动的负刚度减振技术进行了研究。在分析负刚度减振系统......
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们......
