二元光栅照明相关论文
分析了投影光刻系统中部分相干成像的过程，结果表明部分相干成像的像强是相干成像的像强对光源上每一点互相干强度的权重和，得出了近......
本文用部分相干光成像理论研究了提高分辨力及增大焦深的原理．建立了二元光栅倾斜照明成像数理模型。对几种倾斜照明方式进行了模拟......
针对光刻系统分辨力和焦深的矛盾 ,详细研究了二元光栅照明对硅片上光强以及对光刻系统传输频率的影响 .结果表明 ,二元光栅照明可......
本文用部分相干光成像理论研究了提高分辩力及增大焦深的原理，建立了二元光栅倾斜照明成像数理模型。对几种倾斜照明方式进行了模拟......
针对光刻系统分辨力和焦深的矛盾，详细研究了二元光栅照明对硅片上光强以及对光刻系统传输频率的影响，结果表明，二元光栅照明可显著提......
