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二元金属薄膜相关论文

用于激光直写灰度掩模的二元金属薄膜的制备及光学性质

利用磁控溅射方法制备了Zn／Al二元金属薄膜，得出了制备Zn／Al二元金属薄膜的工艺参数。论述了其在激光直写灰度掩模中的应用。......

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二元金属薄膜磁控溅射激光直写灰度掩模 bimetallic thin filmRF magnetron sputteringlaser direct wr

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