灰度掩模相关论文
环形光栅由于它的光谱结构的特殊性，它在光谱分析、光通信、光学信息处理、工业计量、宇宙工程等方面有广泛的应用前景。在国外，环形......
近年来，随着纳米科技的飞速发展，人们对于纳米结构的加工技术研究产生了浓厚的兴趣，许多新奇的微纳米加工技术成为了热门的研究探索方......
提出了基于空间光调制器的灰度掩模制作新方法.分析了该方法的基本原理,构造了相应的实验系统.同时制作了闪耀光栅、菲涅耳透镜以......
针对电寻址空间光调制器制作灰度掩模过程中,精缩透镜的低通滤波特性导致灰度掩模边缘锐度下降的问题,提出了掩模分形技术。对一幅......
讨论了制作适用于近场集成光学头中的凸形、凹形微透镜和折衍射复合微透镜的灰度掩模技术。定性地给出了与几种典型的凸形、凹形微......
灰度掩模法是目前正在积极探索的一种二元光学器件制作方法.从基于空间光调制器的灰度掩模制作方法出发,就"掩模图形的生成"和"工......
针对电寻址空间光调制器制作灰度掩模过程中,精缩透镜的低通滤波特性导致灰度掩模边缘锐度下降的问题,提出了掩模分形技术.对一幅......
论述计算机光学元件制作的方法,着重介绍了灰度掩模技术,反应离子束刻蚀法和激光直写技术,并且说明了其在空间聚焦器上和激光雷达......
文章详细介绍了数字微镜系统总体设计，并进行了实验验证。数字微镜如果结合高质量的高倍精缩投影光学系统，完全可实现亚微米级衍射微......
讨论了灰度掩模技术在凸及凹形微透镜、折衍射复合微透镜和微尖形阵列等器件制作方面的应用,给出了与几种典型的凸及凹形微透镜、......
介绍了制作微光学元件灰度掩模的两种方案,它们分别使用TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)和DMD(数字微镜器件)两种电寻址空间光调制......
根据灰度掩模的制作理论,提出了由PP8000胶片输出仪、远心成像透镜组、平行准直He-Cd激光器构成的精缩投影曝光灰度掩模制作系统.......
在JPEG2000图像中,采用灰度掩模方法对多个任意形状感兴趣区域进行标识时,由于其要求掩模的行数和列数和原图像相同,使得掩模的数......
利用磁控溅射方法制备了Zn／Al二元金属薄膜，得出了制备Zn／Al二元金属薄膜的工艺参数。论述了其在激光直写灰度掩模中的应用。......
灰度掩模法是一种新的二元光学器件制做方法.研究了并行激光直写高性能灰度掩模的工作原理,对空间光调制器(SML)、精缩投影物镜和......
在基于空间光调制器（SLM）的灰度掩模并行制作方法中，基于曝光曲线的线性近似关系，建立了灰度掩模强度透过率的线性近似模型，给出了灰度......
二元光学是基于光波衍射理论发展起来的一个新兴光学分支,是光学与微电子技术相互渗透、交叉而形成的前沿学科。二元光学器件,亦称......
在激光惯性约束聚变(Inertial Confinement fusion，ICF)装置中，静态波前畸变是引起光束质量下降的重要因素。利用微光学工艺技术在基......
设计了一种新型同面相位补偿型等腰闪耀光栅。等腰设计保证了正负衍射级对称分布在光栅法线两侧 ;通过优化设计同面相位补偿槽的大......
研究了一种基于数字微镜的无掩模光刻系统。利用数字微镜输出的高精度数字掩模,结合高质量的高倍精缩投影光学系统,理论上完全可实......
