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在低阻硅（1-10Ω.cm）衬底上采用XeF2硅腐蚀工艺成功制备了长度为2 mm、结构尺寸为w/s=40/60μm间断悬浮和全悬浮两种结构的共面波导......
二氟化氙（XeF2）晶体是一种重要的化学刻蚀材料和激光器件材料.利用密度泛函理论（DFT）,分别采用广义梯度近似（GGA）和局域密度近似（LDA）对XeF......
用ＸｅＦ２与橡胶表面发生反应，在不同条件下，得到氟化改性的结果，其表面致密光滑，表面含有一定量的氟，在高分子链上发生氟原子取代氢原子，形成碳......
