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坐落于中缅边境的一个小镇上,随处可见一些巨大粗壮的树桩,堆在一些玉器店旁.rn这些树桩,便是一些已经玉化了的树的部分.据当地一......
在低阻硅（1-10Ω.cm）衬底上采用XeF2硅腐蚀工艺成功制备了长度为2 mm、结构尺寸为w/s=40/60μm间断悬浮和全悬浮两种结构的共面波导......
提出一种以丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)薄膜作为各向异性腐蚀溶液的掩模的薄膜保护方法.ABS胶以旋涂的方法涂布在硅片表面,然后经过......
本文阐述了HNO3—HF—H2SO4—HAC四元素硅片腐蚀的方法,研究了各组份对硅和钼腐蚀的影响。结果表明,该溶液对钼的腐蚀仅为常用腐蚀......
研究了硅片在富硝酸的HF/HNO3/H2O体系中的腐蚀规律。随着腐蚀反应的进行,反应分5个阶段,在开始的5min内硅片腐蚀量较大,然后反应......
提出了一种新型的微电极葡萄糖传感器。以与IC兼容的硅作为基底材料,利用MEMS加工工艺,采用硅腐蚀及SU8微反应池方法制成了新型微......
湿法腐蚀清洗设备湿区对洁净度有严格要求，流场分布对其影响很大，通过 Fluent 对湿区的流场进行分析，建立流场数值模型和几何模型并对......
湿法腐蚀清洗设备是集成电路、LED、太阳能、MEMS等芯片制造中必不可少的工艺设备,而为了更好的达到腐蚀效果,在各种腐蚀工艺中往......
