二氧化锆薄膜相关论文
随着电子器件持续向小型化发展,具有高介电常数的金属氧化物超薄膜因其可用于下一代MOS电容/场效应晶体管的绝缘栅极层以及闪存中......
ZrO2薄膜是最早受到关注的无机EL绝缘薄膜之一.采用脉冲反应溅射法及O2含量为9-80％范围内制备了厚度为280-450nm的ZrO2薄膜,用MIM结......
订的取向附生的 ZrO2 电影在磅(111 ) 上被种并且由低精力电子衍射(LEED ) 描绘，同步加速器放射光致核裂变光谱学(SRPES ) 和 X 光......
本文采用溶胶-凝胶工艺在玻璃基体表面制备了一、二、三层ZrO2薄膜。X射线衍射（XRD）分析表明,经500℃烧结热处理后ZrO2的晶体结构为......
在Si(100)基片上制备晶态ZrO2薄膜,考察了薄膜的摩擦学性能和摩擦磨损机制.结果表明:在低负荷(0.5 N)下,ZrO2薄膜与GCr15钢球和Si3......
二氧化锆薄膜具备其它第ⅣB族金属氧化物薄膜所不具备的很多优良性能。尤其二氧化锆薄膜的某些卓越的光学特性，比如在很宽的波谱范......
采用电子束蒸发工艺，利用泰勒霍普森相关相干表面轮廓粗糙度仪，研究了不同基底粗糙度、不同二氧化锆薄膜厚度以及不同的离子束辅助能......
