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二维通道电子倍增器相关论文
Si基体二维深通道微孔列阵刻蚀技术
Si材料二维深通道微孔列阵是新型二维通道电子倍增器的基体,其可以采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀和光电化学(PEC)刻蚀等半导体工艺技......
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硅基体
二维通道电子倍增器
微孔列阵
感应耦合等离子体
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Si-based two-dimension channel electron multi
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