五步相移算法相关论文
自混合干涉(Self-Mixing Interference,SMI)技术广泛应用于振动测量中,有些测量方法存在重构微位移误差大、缺少实时性、只能重构......
利用相移技术进行相位测量时,相移误差是相移算法的主要误差来源.本文提出一种五步相移算法,可以减少相移误差.先由傅立叶变换求出......
为了测量物体的微振动,提出一种基于自混合干涉(SMI)技术的新型调制方法——双调制。信号发生器产生正弦波输入到激光二极管(LD)控......
晶圆作为加工半导体芯片的主要材料,其质量的好坏对信息产业的影响可谓巨大。因此,对晶圆表面微观形貌做精密的检测显得尤为重要。......
