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磁致伸缩纳米级微量进给机构的实验研究
磁致伸缩效应可用作实现纳米级的微量进给。本文对所研制的磁致伸缩机构的性能进行了实验。此机构可在2.5μm范围内进行最小位移量为2nm,位......
期刊
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实验装置
重复定位精度
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