...

通过试验对压电陶瓷传感器(PZT)驱动的二维微量进给机构进行了研究，并给出了压电陶瓷传感器驱动电源及微量进给机构的设计方案和性......

<正> 超精密加工是当代机械制造最重要的发展方向之一,是现代航空、航天、微电子等尖端技术发展的基础。在超精密加工中,很重要的......

该电源可实现电压0～300V 连续可调,分辨率为75mV(当电压变化100mV 时,位移变化0.01μm),输出纹波小于5mV,电源频响达500Hz,电压稳定......

磁致伸缩效应可用作实现纳米级的微量进给。本文对所研制的磁致伸缩机构的性能进行了实验。此机构可在２．５μｍ范围内进行最小位移量为２ｎｍ，位......