位置测量系统相关论文
在相位光栅位置测量系统中,加工、后处理等工艺会导致光栅结构发生非对称性变形,增加了位置测量误差。因此,建立了非对称性光栅的......
为了提高相位光栅位置测量系统的测量精度,需要降低零级和偶衍射级次信号的衍射效率,同时提高高奇衍射级次信号的衍射效率.目前,已......
光刻机作为高端超精密加工装备的代表,在大规模集成电路制造领域发挥了无可替代的重要作用。掩模台作为光刻机的重要核心组成部分,......
某型导弹填装车为发射车自动装弹前 ,需要获得两车之间精确的相对位置关系参数。介绍了一种非接触三维位置测量系统 ,该系统由一组......
描述了一种可以快速测量无人机载荷位姿的六自由度测量系统，可对无人机载荷位姿进行实时安装测量，用于保证所有载荷安装于预定位置。......
介绍了旋转变压器鉴相型位置测量系统的结构和工作原理 ,深入阐述了基于 AT89C2 0 5 1单片机的旋转变压器鉴相型位置测量系统的硬......
简介了机床位置测量系统的演变和发展,得到较广泛应用的光栅、感应同步器、容栅、磁栅、球栅和激光等测量技术的分辨率等,说明光栅......
某型导弹填装车为发射车自动装弹前 ,需要获得两车之间精确的相对位置关系参数。本文介绍了一种非接触三维位置测量系统 ,该系统由......
将船舶动力定位位置测量系统的通信技术部分作为研究重点,采用嵌入式技术,进行了NMEA0183到CAN的协议转换的软硬件设计,可实时地完......
用线阵CCD扫描获取圆孔图像,通过图像识别确定圆心,实现孔系位置精密测量。以所提出的识别弦端点确定图像圆心坐标的算法,对500根......
为了克服现有双丝型检测器无法进行水平、垂直两个方向同时测量同步光位置的缺点,合肥光源新研制了基于四象限光位置检测器的同步......
位置测量是数控机床加工精度和定位精度的重要保障。根据机床是闭环或者半闭环的结构不同，分别安装直线测量尺和角度测量尺。组成直......
介绍了PSD和基于PSD的位置测量系统的工作原理,探讨了基于PSD的位置测量系统的硬件、软件和基本电路,并对系统误差进行了分析。......
光刻技术是极大规模集成电路制造流程中的重要环节，其中套刻精度是光刻机的主要性能指标，在当前光刻机发展的背景下，工件台技术在提高......
设备是企业的主要生产工具,也是企业现代化水平的重要标志,采用新技术、新工艺,加速企业设备的技术改造,提高竞争能力,这即是国家......
本文论述一种从软件上提高感应同步器位置测量系统精度的新途径。首先根据测量系统提供的位置准测量值,结合感应同步器误差分析,提......
随着导弹技术的发展 ,位置测量设备的精度要求也不断提高。介绍位置测量系统的现状 ,研制出一种新的非接触位置测量系统 ,推导出新......
随着深海技术的不断发展和推进,动力定位系统的应用越来越广泛,已成为船舶自动化技术中的一个热点问题。从动力定位系统的3个组成......
