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目的 提高新疆天文台南山观测基地ZZS1800-1/G真空镀膜机的膜厚均匀性指标。方法 通过建立旋转行星夹具系统的膜厚分布模型，利用高......
研究了1.1m大口径镀膜机热蒸发制备金属铝膜的膜厚均匀性问题,针对旋转平面夹具分析了夹具高度H以及蒸发源与真空室中心轴距离L对......
光学膜系的膜层厚度的均匀性是指膜层厚度随着基板表面位置变化而变化的情况.膜厚均匀性不好,膜系特性会遭到严重的破坏.影响膜厚......
讨论了影响电子束蒸发镀膜厚度均均匀性的因素,提出了一种确定膜料蒸发特性的方法。并针对平面旋转夹具分析了夹具高度以及蒸发源......
提出了一种膜厚修正挡板的设计方法，分析给出了使用挡板情况下基片膜厚和监控片膜厚的关系，对线性渐变滤光片镀制挡板进行了设计，给出......
为了在光学元件镀膜过程中精确控制膜厚均匀性,通常需要有针对性地设计并制作膜厚修正挡板。然而,由于基底在真空室内运动方式复杂......
分别建立了真空镀膜机行星系统中平面光学元件薄膜厚度模型和修正挡板校正薄膜厚度非均匀性模型,并运用数值计算方法完成修正挡板......
为满足精密光学系统的性能需求，真空紫外光学薄膜元件的尺寸和数值孔径越来越大，对制备高性能的真空紫外光学薄膜提出更多的挑战。主......
