蒸发源相关论文
目的 提高新疆天文台南山观测基地ZZS1800-1/G真空镀膜机的膜厚均匀性指标。方法 通过建立旋转行星夹具系统的膜厚分布模型,利用高......
根据行星夹具的膜厚理论模型, 对半球透镜表面的膜厚分布进行理论分析研究。推算半球面上典型点的膜厚公式, 用代 入法对不同情况......
本文以高世代线性蒸发源温控系统的开发为研究对象,基于现有蒸发源温控系统的工艺技术,设计一系列加热系统和冷却系统分布方案,运......
本文介绍的筒状蒸发源,可以获得大面积的均匀膜厚分布.采用迭代法计算的相对膜厚分布和用干涉法测量的相对膜厚分布能较好地符合。相......
本文对引进镀膜机蒸发源的排列从理论上进行了分析,根据分析结果将蒸发源重新排列,在生产实践中取得了明显的节材、节能的经济效益。......
设计了一种超高真空使用的低电流过渡金属蒸发源 ,它能产生高纯金属原子束 ,且具有一定的寿命。该蒸发源是将过渡金属Co,Ni或Cr电......
GaSb的禁带宽度是0.72eV,为低禁带半导体,是红外探测器和光伏电池的主要材料。用传统的方法获得GaSb电池的代价很高。本文采用共蒸发......
本文采用气体蒸发法制备纳米锌颗粒,在氩气的气氛中采用X衍射和电子显微镜研究其晶体结构并且详细研究在不同距离收集纳米锌颗粒的......
该文的研究内容主要包括:大口径光学薄膜厚度的分布及其均匀性修正,蒸发源蒸发特性的模拟和实验验证以及薄膜光学不均匀性的修正。 ......
通过对软金属Sn材料制备薄膜的研究,从而在工业生产中摸索出一些经验和工艺过程,最终在实际生产中取得很好的经济效益。
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用热蒸发法为MOTOROLA中国电子有限公司手持电话外壳表面沉积了具有一定金属光泽的Sn电介质绝缘薄膜,论述了在真空度参数一定时,薄......
应用真空镀膜技术制作出的爆炸网络其密度比较均匀,膜层的厚度比较容易控制;选择适当的工艺参数,能够制得精度很高的小尺寸产品;蒸发源......
对用低价硫化铝的歧化反应进行钢基镀膜作了定性研究. 用两种蒸发源(2Al2O3+6C+Al2S3)和(4Al+Al2S3)分别进行反应蒸发镀膜, 系统真......
本文介绍了真空镀膜技术中电子束加热式蒸发源的结构、电子束加热原理、特点、优点和工作原理以及电子束加热源中电子枪坩埚的处理......
有机材料的蒸镀与金属半导体等无机物存在不同的技术课题。这些有机物具有以下的特征。...
本文用计算机对三台国产镀膜机的膜厚分布进行计算,分析了膜厚均匀产生的主要原因;提出了利用计算机帮助寻找蒸发源的最佳排列,以获得......
本文依据L.Holland的膜厚公式和I.A.Neil的关手光学元件表面的数学表达式讨论了热蒸镀形镀膜机的膜厚均匀性,计算了平面、球面。高......
本发明涉及一种应用于有机电致发光镀膜机的坩锅式蒸发源。坩锅式蒸发源由支座、热电偶测温系统、加热体炉子及坩锅组成。炉子由上......
为解决透射式Cs2Te光阴极厚度不均匀问题,通过理论和实验研究,分析了产生此问题的机理及其影响因素。这些因素包括:蒸发源发生器形状......
本文主要介绍了两种不同的结构和蒸发源的蒸金镀膜的方法以他们在现代半导体工业中的应用及带来的经济效果。......
一种钛铝镀层用多弧离子镀膜机,它主要由多弧离子镀膜炉炉壁上均匀安装多个钛铝镀层蒸发源与多个纯钛离子轰击、预镀蒸发源构成,本实......
设计了一种高真空使用的低电渡过渡金属蒸发源,它能产生高纯金属原子束,且具有一;定的寿命。该蒸发源是将过渡金属Co,Ni或Cr电镀到一个由W丝弯......
本文介绍西安工业学院研制的脉冲电弧蒸发源的原理和关键技术,利用该源镀制的类金钢石薄膜及镍铬铁合金渐变膜的性能指标.......
采用真空气相沉积法,使用两种蒸发源制备纳米ZnO薄膜.用XRD(X射线衍射)进行测试并进行其结构特性分析.研究发现,蒸发源为分析纯Zn......
利用有限元法模拟计算了旋转平面夹具,旋转球面夹具,行星旋转球面 夹具的膜厚均匀性,分析了均匀的影响因素,指出了工艺中的调整方法。......
专利申请号:CN200580039033.6 公开号:CN101094932申请日:2005-09—16 公开日:2007—12-26申请人:美国伊斯曼柯达公司一种将颗粒物质蒸发......
本实用新型公开了一种钛升华泵,它是由泵壳、泵壳上的抽气口、线状通电蒸发源、挡板、电源组成。所述档板是设置在抽气口与线状通电......
本文详细地阐述了喷镀铝箔用镀膜设备的类型及特点,并分析了喷镀材蒸发源类型及适用范围.......
本文介绍了自主研发的磁偏转电子束蒸发源,主要构造有电子束发射及偏转组件、水冷组件和坩埚换位组件等,设备集成在6英寸的超高真......
从设备总体,卷绕系统,真空系统,蒸发源系统和电气控制系统等方面介绍国外主要的高真空卷绕镀膜设备制造公司LS、GVE、GVT和ULVAC的包装装饰用设备发......
本文在研究了阴极弧斑运动规律的基础上,发展了多功能受控电弧蒸发源,它可在自由电弧状态下运行,而在200~250A高参数运行时,可使阴极弧斑覆盖几......
分析了几种可能的实际蒸发源与薄膜均匀性的关系,其中包括扩展的平面蒸发源和曲面蒸发源。通过实验论证了薄膜均匀性对蒸发源尺寸......
作为真空镀膜的关键装备之一,分子束外延蒸发源对于镀膜效果具有极其重要的影响。为了获得优质性能的薄膜,需要性能良好的蒸发源。国......
近几年来,新型的有机功能材料,由于具有传统的无机材料相似的性能而得到业界的广泛关注。无机材料根据性质的不同,在制备相应的薄......
蒸发源是真空镀膜装置中一个非常重要的部件。在多个蒸发源共存的装置中,如何在设计中正确选择蒸发源与蒸发源、蒸发源与基片之间......
多弧离子镀技术近年来发展极为迅速,已生产出多种类型的多弧离子镀设备并已投产使用。设备中阴极电弧蒸发源工作性能的好坏直接影响......