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偏晶向硅片相关论文
偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计
利用硅单晶的特殊结构可以设计出不同角度的闪耀光栅,再使用MEMS的紫外光刻、各向异性腐蚀等常规工艺就可以完成硅闪耀光栅的制作.......
期刊
闪耀光栅
偏晶向硅片
体硅
湿法腐蚀
微制造
(111) silicon wafer
blazed grating
bulk silicon technolog
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