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光刻胶等效扩散长度对O.13μm 工艺窗口的影响
介绍了如何通过测量得出的等效扩散长度和光刻机的照明条件来对任何光刻工艺的线宽均匀性进行评估.展示了在0.13μm及以下工艺中等......
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等效扩散长度
像对比度
能量裕度
光刻
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