等效扩散长度相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

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光刻胶等效扩散长度对O.13μm 工艺窗口的影响

介绍了如何通过测量得出的等效扩散长度和光刻机的照明条件来对任何光刻工艺的线宽均匀性进行评估.展示了在0.13μm及以下工艺中等......

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等效扩散长度像对比度能量裕度光刻

宽气压范围空气中微波击穿电场的计算公式

为了简便快捷地计算微波击穿电场,依据电子扩散模型的基本理论,结合气体放电的基本参量,应用特征扩散长度的概念,给出了适合于规则......

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微波击穿等效扩散长度特征扩散长度气体放电微波二次电子发射

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