光学发射谱相关论文
采用辉光放电等离子体增强化学气相沉积 (GP CVD)技术在低温条件下合成了高品质的亚微米金刚石薄膜 ,并通过对合成过程的实时发射......
利用光学发射谱技术对螺旋波等离子体化学气相沉积纳米硅薄膜的等离子体内活性粒子的光发射特征进行了原位测量.研究了薄膜沉积过......
采用介质阻挡放电等离子体喷枪装置,在大气压下流动气体（氩气和痕量氮气）中产生了稳定的喷射等离子体。通过拍摄喷枪发光照片,研究了......
利用同轴介质阻挡放电喷枪，通过氩气的流动在大气压空气中产生了均匀的等离子体羽。等离子体羽沿气流方向较为均匀，但在喷嘴处为白色......
在CH4／H2和CH4／He两种系统中，利用光学发射谱技术对螺旋波放电产生低压甲烷等离子体内活性粒子的光学发射特征进行了原位诊断。在实验......
在CH4／He体系下，利用光学发射谱技术，对螺旋波放电产生低压甲烷等离子体内活性粒子的光学发射特征进行了原位测量。根据甲烷离解后产......
利用辉光等离子体辅助热丝化学气相沉积法，制备硫掺杂n型金刚石薄膜，利用光学发射谱技术对其生长环境进行原位诊断，分析合成机理及生......
通过设计新型的交流电压激励的氩气等离子体射流,在棒电极的上游与下游区域均产生了大气压非平衡态等离子体羽。该射流与平行场射......
利用水电极介质阻挡放电装置,采用电学方法和发射光谱,研究了空气中介质阻挡放电从微放电丝模式向均匀放电模式转化的过程.结果表......
采用介质阻挡放电等离子体喷枪装置,在大气压下流动氩气中产生了射流等离子体。利用光电倍增管,对射流等离子体进行了时空分辨测量......
本工作采用等离子体增强化学气相沉积技术对Si衬底上沉积的氮化碳薄膜的过程进行了实验研究。以扫描电子显微镜（SEM）、能量色散X射线......
学位
利用光谱学方法，对针-水电极和针-板电极直流辉光放电特性进行了比较研究。结果发现两种装置产生的放电都有明显的分区现象，从阴极到......
