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为提高消光椭偏测量技术的测量精度,提出了一种基于光弹调制的消光椭偏测量技术。将光弹调制器和两块λ/4波片组合构成旋光调制器,......
针对投影光刻机短波长、大数值孔径、短焦深的特点，讨论了一种基于光闸叠栅条纹的纳米检焦方法。该方法采用三角测量的基本原理，利用......
反射差分光谱仪是一种测量灵敏度和精度较高的研究表面/界面的新型分析仪器,但微弱的反射差分信号易受到各种噪声的干扰.作者利用J......
反射差分光谱术(RDS)是研究材料表面和薄膜光学各向异性属性的重要手段.现有的技术以光弹调制器(PEM)式单通道测量模式为主,可以实......
为满足光弹调制器对高电压、高稳定和精确易控制的驱动电压需求,设计了一种基于FPGA控制、全桥结构LC谐振升压的高压驱动电路。该......
已成为PC标准的通用串行总线USB具有宽带宽、高速和智能化串口的互连技术,该文介绍了基于USB接口技术对高速光弹调制偏振光信号进......
本文搭建了一套光弹调制差分反射分析系统.这套试验系统不仅可以用于常规方法很难测量或很难精确测量的薄膜的光学性质和介电性质......
针对单个光弹调制器（（Photoelastic Modulator，PEM））干涉具受到材料本身热、力学的限制，产生的最大光程差小，而多个PEM串联又难以控制，且多......
针对现有光弹调制测量偏振方法无法用普通阵列探测器有效采集锁相频率，难以测量复色光的偏振特性等缺点，提出了一种三光弹调制器互差......
