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纳米多层膜中的非晶晶化与超硬效应
本文主要论述纳米多层膜中的非晶晶化与超硬效应,纳米多层膜非晶晶化是指在纳米多层膜中由于某一层晶体生长的模板作用使另一原为非......
学位
纳米多层膜
非晶晶化
超硬效应
共格生长
磁控溅射法
ZrN基纳米结构硬质薄膜研究
以纳米多层膜和纳米晶复合膜为代表的纳米结构薄膜因能够通过合理设计其成分和微结构得到超过40GPa的超高硬度而获得广泛关注。不......
学位
ZrN薄膜
反应磁控溅射
纳米多层膜
纳米晶复合膜
微结构
共格生长
界面相
力学性能
抗氧化性能
纳米材料
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