ZrN薄膜相关论文
本研究选择锆作为溅射靶材,利用超高真空射频磁控溅射系统制备ZrN薄膜.通过X射线衍射仪、表面轮廓仪和纳米力学测试系统分析了该体......
铀材料部件的腐蚀是一个较为严重的问题，为了提铀材料部件的表面抗腐蚀能力，人们越来越多的关注表面改性问题。各种表面改性技术逐步......
以纳米多层膜和纳米晶复合膜为代表的纳米结构薄膜因能够通过合理设计其成分和微结构得到超过40GPa的超高硬度而获得广泛关注。不......
利用中频反应磁控溅射技术在1Cr18Ni9Ti不锈钢基底上沉积ZrN薄膜。通过控制N/Ar、溅射功率和基体偏压等参数,得到不同实验条件的Zr......
利用ECR-微波等离子溅射沉积技术加不同偏压在45钢基体上制备了ZrN薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)对薄膜的微观......
本文采用阴极电弧离子镀技术制备了ZrN膜层,研究了工作气压、偏压、弧流等工艺参数对ZrN膜层表面形貌和结构的影响,分别用扫描电镜......
采用中频非平衡磁控溅射技术在镜面不锈钢板上制备了ZrN薄膜,通过改变镀膜时间控制ZrN薄膜的厚度。用色差仪测定了不同厚度ZrN薄膜......
本文利用射频磁控溅射在N2和Ar混合气氛环境下，在玻璃衬底上沉积ZrN薄膜．采用X射线衍射（XRD）、X射线散射能谱（EDX）和扫描电子显微镜（SEM）技......
采用非平衡磁控溅射技术在1Cr18Ni9Ti不锈钢上制备了ZrN薄膜。用SEM、EDS观察并分析了薄膜的表面形貌和成分,用光电轮廓仪测量了膜......
采用真空阴极电弧离子镀在不同基体材料上镀ZrN涂层，试验研究了ZrN薄膜的沉积工艺与性能，分析了基体偏压和沉积真空度对ZrN薄膜显微......
高功率复合脉冲磁控溅射(HHPPMS)技术,以其高的金属离化率,不含有大颗粒离子束,生成的薄膜结构致密,薄膜性能优异,成为国外研究的......
