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内连导线相关论文

应力诱发下内连导线中微裂纹的演化

随着微电子技术的迅猛发展,集成电路中内连导线的失效问题引起广泛关注。本文基于材料微结构演化动力学的基本框架,建立了应力诱发......

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微裂纹演化有限单元法应力迁移界面迁移表面扩散内连导线

力、电诱发表面扩散下内连导线中晶内微裂纹的演化

集成电路特征尺寸日益减小,随之而来的电子元器件可靠性问题受到很大关注,而内连导线中微结构的演化将大大影响其可靠性。本文基于......

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微裂纹演化有限单元法表面扩散应力迁移电迁移内连导线

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