真空微电子相关论文
微型加速度传感器,特别是基于微机电系统（MEMS）的加速度传感器广泛应用于汽车安全、导航系统、航空航天、军事、空间微重力等核心领......
真空微电子是和固体微电子相对而言的，其真实含义是将真空电子器件的尺寸做到微米级，与当时的半导体器件相当，并具有真空器件的独特优......
该文作者在纵观了机器人传感器技术,MEMS技术,真空微电子传感器技术的发展概况之后,认识到机器人传感技术的主要发展方向是由单一......
随着现代科学技术的发展,汽车、工业自动化、导弹等领域对加速度传感器提出了集成化、微型化、高性能等要求,开发各种新原理、新结......
真空微电子压力传感器是一种新型的压力传感器，具有灵敏度高、温度稳定性好、体积小、抗辐射、制备过程与汇工艺相兼容等优点，在航空......
对真空微电子三极管、四极管进行了计算机模拟。模拟结果显示了发射电流与场致增强因于依赖表面的尖端半径、尖端高度等几何因素，并......
介绍真空微电子传感器的研究和发展概况,着重叙述了真空微电子压力传感器和真空微电子磁传感器的发展,并就其研究、发展和应用前景......
研究了一种新型真空微电子氢气传感器,其原理为气体在高电压激发下发射出与其吸收光谱相同的特征光谱.用微机械加工方法在硅片上加......
结合真空微电子技术、MEMS技术和传感器技术,依据冷阴极场致发射的原理,设计了一种带过载保护功能的新型真空微电子加速度传感器.......
论述了真空微电子加速度传感器的结构及工作原理,应用有限元方法对加速度传感器进行了静力学和动力学分析,拟合出悬臂梁的长宽厚与......
本文建立一种新型X射线探测器，它是一种矩阵寻址方式的二维探测器，由两块玻璃〖ZH(〗基板组成，分别称作阴极板和阳极板阴极板内侧镀......
为提高真空微电子加速度传感器的线性度,提出了基于数字PID控制算法的真空微电子加速度传感器闭环控制方法。建立了真空微电子加速......
阐述了真空微电子压力传感器阵列的工作原理和工作波形.设计了一种供真空微电子压力传感器阵列器件使用的12位A/D数据采集系统.系......
该文提出了“阴极-敏感薄膜复合”结构的新型真空微电子压力传感器,并研制出了“阴极-敏感薄膜复合”结构,对硅薄膜在外力作用下产......
微加工技术为真空电子技术的发展提供了新的领域和新的应用 .场致发射阵列阴极 (FEA)是最突出的代表 .本文综述了FEA近年来的发展 ......
力平衡式真空微电子加速度传感器的惯性敏感元件不仅受弹性力的作用，同时还受静电力的作用，其总刚度为机械刚度和由静电力引入的电学......
采用许瓦兹－克里斯托福变换，求得了以椭圆锥为发射体的真空微电子二极管区域的电位分布的解析解。采用自由电子模型，运用ＷＫＢ近似，对真空微......
自从被发现之日起，碳纳米管（CNT）就一直是科学界和工程技术界研究的热点问题，其作为电子发射的冷阴极尤其令人关注。但迄今为止，碳纳米......
太赫兹,指频率介于0.1THz~10THz之间的电磁波,位于毫米波和红外之间。它具备诸多优点,科学价值重大,应用前景广阔,可用于物体成像......
传统真空微波电子器件采用热阴极作为电子源,使器件体积受到了约束,真空微电子学的诞生给微波真空电子学的研究注入了新的活力。真......
压力是过程自动化五大参量中的首要参量，作为压力信息获取的核心元件的压力传感器，在石油、化工、冶炼、电力、仪器仪表、机械、汽车......
