加悬浮极单探针相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

加悬浮极单探针相关论文

碰撞条件下可组合式等离子体源的实验研究

近年来,低温等离子体工艺在超大规模集成电路、微机电系统加工、材料表面改性、新型薄膜材料以及纳米材料制备等前沿科技领域中有......

学位

凹腔型射频感应耦合等离子体碰撞条件下组合大面积等离子体源多步电离非线性增强效应加悬浮极单探针电子能量分布函数等离子体增强化学气象沉积非晶硅薄膜

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