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半导体制造系统是公认的最复杂的生产系统之一。半导体晶圆生产调度与控制问题是比一般Flow Shop和Job Shop更复杂的第三类生产线......
根据役龄回退参数的不同取值,建立了半导体设备预防性维修后的平均单位产值模型,利用仿真方法确定最佳预防性维修周期和次数,阐述......
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