半绝缘多晶硅相关论文
通过对半绝缘多晶硅(SIPOS)膜纵向结构均匀性不同结果的对比,论述了SIPOS膜成分的纵向结构分布对晶体管的钝化作用的影响,同时根据......
本文提出了高阻半导体薄层电阻的一种测量方法。将待测样品用平面技术制备成矩形,薄层电阻由所加直流电压和电流指示算出。测量精......
本文采用直流辉光放电法在台面功率半导体器件上生长SIPOS钝化膜．研究结果表明，SIPOS钝化的功率器件性能要好于聚酰亚胺钝化的功率器......
文章主要研究n’p、p’n和p’p三种SIPOS(半绝缘多晶硅)-Si异质结二极管的I-V特性,并算出了相应的理想因子和势垒高度。在同样掺杂......
