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单弯曲阴极真空电弧相关论文

基体负偏压对四面体非晶碳膜结构和性能的影响

采用自主研制的45°单弯曲磁过滤阴极电弧沉积系统于Si基体表面制备了四面体非晶碳（ta-C）膜，研究了基体负偏压对薄膜沉积速率、成......

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单弯曲阴极真空电弧偏压四面体非晶碳膜 SP3 single bent FCVA negative bias ta-C sp3 bond

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