单晶拉制相关论文
纯化石英坩埚所用高纯石英砂,改变其中Na、K元素的含量,研究了石英坩埚中Na、K元素含量的不同对硅单晶拉制的影响。结果表明,降低N......
推广了单晶拉制中的一个非定常自由边界问题,考虑了解的存在唯一性....
IC、LSI、VLSI等半导体器件的基础材料——硅单晶的生产量正在逐年增加着,今年日本的生产量要比当初预料的1000吨有较大幅度的提......