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单晶硅生长技术相关论文
连续加料法生长450mm大尺寸单晶硅内部热应力场的模拟研究
450mm大尺寸单晶硅生长技术是目前单晶硅生长领域的前沿研究课题,连续加料法是生长450mm大尺寸单晶硅的技术发展方向。大尺寸单......
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300mm硅片技术发展现状与趋势
综合评述了300mm硅材料在晶体生长、硅片成形、表面质量控制、衬底优化以及表征等方面的研究现状和发展趋势,特别是国内在300mm硅......
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