单晶硅膜相关论文
基于单晶硅折射率随温度变化的热光效应,研究了一种硅基双波长光纤温度传感器.理论分析了单晶硅膜温度传感的机理,通过计算得到了......
双金属效应是一种基本的物理效应，这一效应在硅微机械装置上的应用，有力地弥补了硅材料不具备压电效应，电信号难以直接转换为机械驱动......
本文描述用离子注入氮化硅层隔离的单晶硅膜制作的CMOS器件.给出这种CMOS器件的工艺方法以及晶体管和倒相器的特性,讨论这种技术的......
