硅微机械相关论文
自锁型2×2和1×4光开关是在{10}硅基片上采用各向异性湿刻蚀工艺技术在KOH中制备的微机械光开关。这种制各方法可以低成本一次投......
随着我国经济的高速发展,能源开发对国民经济,社会发展乃至国家安全而言显得日益重要,其中石油供应是国家能源安全问题中最为迫切......
随着微电子科学和微型制造技术的发展，硅微机械陀螺仪的性能不断提高，与传统的机电类陀螺仪和光电类陀螺仪相比，它具有体积小、重量轻......
对光激励硅微机械式传感器的进展进行了综述，总结了该传感器的技术特点和结构形式，最后介绍了四种典型实例
The progress of photo-......
为了实现谐振式硅微传感器测试仪器的直接校验,以及进行谐振式传感器反馈控制电路的优化研究,设计了能够模拟压阻拾振式谐振敏感元......
加速度过载开关系列是由硅微机械加速度敏感元件及控制系统组成，具有两组常开／常闭触点，当承受的加速度达到规定值时，内部继电器开关动......
硅微机械技术是一种新兴技术,它几乎影响着每一个科学技术领域,如汽车、移动通信、航天、化学以及光波系统.目前许多工业领域期待......
微机械陀螺因其微型化、低成本等优点,广泛用于微系统的姿态稳定与控制系统。研究了无驱动结构硅微机械陀螺的信号处理技术。通过......
介绍了一种适用于旋转载体自动驾驶仪的硅微机械陀螺。该陀螺的特点是陀螺本身不包含驱动结构，利用旋转载体自旋作为驱动，陀螺输出信......
双金属效应是一种基本的物理效应，这一效应在硅微机械装置上的应用，有力地弥补了硅材料不具备压电效应，电信号难以直接转换为机械驱动......
研究了硅微机械高g(g为重力加速度)加速度传感器的固有频率和阻尼特性对冲击响应的影响。传感器固有频率低,阻尼小时,冲击加速度的......
通过建立传感器的力学模型，对硅微电容式加速度传感器的特性作了详细的分析与讨论，为系统结构的优化设计提供了理论基础。......
从基本工作原理着手阐述了光激、光拾硅微机械谐振式传感器，评述了近年来在光激、光拾方式下工作的硅微机械谐振式压力、温度传感器......
介绍了利用旋转载体自身旋转作为驱动力的硅微机械陀螺的相位提取技术。当陀螺的敏感轴平行于载体偏转平面时，硅摆所受的哥氏力最大......
凡是能够产生周期性变化波形的电路．即可称为振荡器（谐振器和驱动电路的组合）．是电路系统中用做周期、频率．时问等的主要参考依据．也可用......
