随着微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)技术的发展,MEMS陀螺已经成为一种在民用、商业、军事均有广泛应用的惯性......

MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)谐振陀螺是一种测量角速度的传感器,具有成本低、功耗低、体积小、可大规模批量生产的特点......

针对微机电系统(MEMS)陀螺驱动电极和感应电极之间存在寄生电容,导致驱动信号的电馈通,限制了陀螺仪的灵敏度的问题,采用一种新型......

由于硅微陀螺仪材料和加工工艺以及电路上的非理想因素,驱动信号会对敏感检测端产生串扰。为抑制此种串扰,降低驱动激励幅度,采用......