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为了将微隧穿式陀螺仪(MTG)的隧尖与检测电极之间的隧道间隙及其变动量分别维持在1 nm和0.1 nm并降低系统噪声和扩大带宽,本文为其......
推导了双框架式硅微陀螺仪驱动模态和检测模态的运动方程，定义了驱动位移和敏感位移。在此基础上，利用弹性主轴原理，分别推导了内外框......
由于加工误差的存在，硅微陀螺仪驱动和检测模态之间不可避免会产生正交耦合误差，对性能造成了一定影响。为了提高硅微陀螺仪性能，提出......
