双端固定音叉相关论文
该文使用双端固定音叉(DETF)作为谐振器,设计了一种新型结构的硅微机械加速度传感器.传感器使用一个悬臂梁用于支撑质量块,两个音......
提出了一种使用双端固定音叉的新型结构的谐振式硅微机械加速度计.它用硅梁侧壁形成的静电电容进行激振,并通过在音叉臂上制作的压......
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从理论上分析了微机械音叉谐振器的机械力学特性,给出了活动梳齿的工作模态频率解析解,提供谐振器结构设计的依据。利用基于MAST语......
