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抗过载双质量块微机械陀螺结构设计与分析
微机械陀螺是利用科氏效应来测量外界角速率信号的传感器,具有尺寸小、成本低、功耗低和可靠性高等优点,被广泛应用于定位导航和军......
学位
硅微机械陀螺
双质量块
抗过载
系统级分析
双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪的理论计算及仿真
提出了一种双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪。采用两块反相、同频、等幅振动质量块作为敏感单元,通过测量谐振器谐振频率变化来计......
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微机电系统
陀螺仪
双质量块
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