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设计了一种由电磁驱动的微机械可调式光衰减器。这种光衰减器是由电磁驱动插在两对准单模光纤间隙中的挡光片来实现光功率的衰减。......
研制了一种工作在 1 5 5 0nm波长范围内的单模光纤微机械可调式光衰减器。该衰减器利用非硅表面微加工工艺 (这种工艺采用光致抗蚀......
主要讨论了具有机械式抗反射开关(即MARS)结构的新型微机械可调式光衰减器.MARS结构可调式光衰减器由表面微机械工艺制备.当器件被......
