台阶电极结构相关硕士博士期刊学术论文

本文描述了一种具有台阶电极结构和ＴｉＮ扩散阻挡层的高可靠微波硅功率晶体管，将这种用于高频大功率器件的结构与传统的平面结构进行了比......