均束器相关论文
以准分子激光在半导体微光刻技术、脉冲激光沉积、平板显示器加工制造以及激光钻孔中的应用为例,阐述了准分子激光光束均匀化的重......
针对351nm波长的XeF准分子激光器,自行设计了用于高精度、高产率、大面积且常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(PCB,)激光投影成像照明系统。......
为了提高激光光束的应用水平,需要将高斯光束整形为平顶光束。分析了非球面高斯光束均束器的基本原理和设计理论,选用超高斯光束函......
351nm波长的准分子激光器由光波导管作为激光均束器,直接输出正六角形均匀分布的照明光束,能在大面积激光投影光刻中实现无缝扫描......