准分子激光器相关论文
采用波长248 nm的KrF准分子激光器,对Al2O3陶瓷片及玻璃片的精密加工进行了研究,探讨了各种工艺参数对加工质量的影响规律。同时研......
采用阴影法对高重复频率准分子激光器放电腔内的放电冲击波现象进行了实验研究,研究结果揭示了放电冲击波的产生以及演化过程。通......
分析了准分子激光器放电腔内放电冲击波能量来源的计算方法,利用Fluent软件对放电冲击波物理过程进行了二维仿真,揭示了300 μs内......
本文报道—台自制的光学投影亚微米量级微细加工用的KrF准分子激光振荡-放大系统,并对其设计和运转性能加以讨论.该系统在200Hz重......
准分子激光绝对波长校准技术中,参考中心波长位置抖动是影响校准精度的主要因素,寻峰算法是解决这类问题的有效途径。通过仿真和实......
从一台紫外预电离XeCl激光器中得到单脉冲能量～400mJ、平均功率22W的激光输出,其总体效率约2％。分析和实验测量表明,C-G能量转移效率......
本文报道了一台使用UV自动预电离,C-C转移放电泵浦的XeCl准分子激光器,并且以激光器放电信号和输出激光信号的同时测量结果为依据,......
报道了适用于大体积高气压短脉冲的准分子预电离脉冲X光源,着重对获得高强度快上升X光源的技术作了介绍,并给出其它性能的实验结果......
本文报道紫外预电离放电泵浦的高重复率XeCl准分子激光器的放电特性,分析了放电参数的改变对放电过程的影响.最佳转换效率达2.2%.......
光刻用准分子激光器的能量特性在集成电路的光刻过程中至关重要,直接影响光刻机曝光线条的精度。为了实现对于衡量能量特性的能量......
介绍了用于角膜放射状切开手术的准分子激光器和光束投射系统.得到宽0.14 mm长8 mm的狭缝光束.能量密度大于200 mJ/cm2.用Dove棱镜......
线宽压窄模块是光刻用准分子激光器的重要组成部分。线宽压窄模块中棱镜组及光栅的装配角度直接影响系统输出特性。为了进一步改进......
本文报道在XeCl准分子激光器中添加微量的氯苯(C_6H_5Cl)或四氯化碳(CCl_4),使激光输出能量提高约16％。......
近年来，光纤光栅凭借着其拥有插入损耗小、对外界环境扰动的反应精度高、耐腐蚀、制作简单等优势被用来制作各种高灵敏度传感器，在光......
准分子激光技术的突破性进展经过二十年的发展，准分子激光器仍旧是功率最大的脉冲紫外激光器，它运用于金属和非金属材料的冷处理—消......
核泵浦Ｎｅ－Ｘｅ－ＮＦ＿３激光器阈值特性的计算引言很早就对惰性－卤素准分子激光器进行了研究［１～３］。今天它们是紫外波段最强的激光器。准分子激光器的最佳......
准分子激光器软Ｘ光辐射源Ｈ．Ｓｈｉｅｌｄｓ等人指出［１－４］，为使放电准分子激光器中的体均匀自持放电触发，必须具有起始电子密度ｎｅ≥１０６ｃｍ－３的气体预电离。若ｎｅ增大到１０９ｃｍ－３，放电......
在一台长脉冲放电泵浦ＫｒＦ准分子激光器上，对采用腔内倾斜标准具法压缩线宽进行了研究．采用平行平面腔结构，在谐振腔中加入小孔光阑以控制......
报道了几种国产阶跃型纯石英光纤在传输ＸｅＣｌ（３０８ｕｍ）准分子激光时的损耗特性及其破坏阈值的实验研究结果，同时也报道了这些光纤的弯曲损耗和弯曲......
通过采用多级Ｌ－Ｃ峰化回路、增大输出镜反射率、改变ＨＣｌ浓度的方法，使ＸｅＣｌ准分子激光的脉冲宽度达到１５０ｎｓ以上（最大脉宽达１７５ｎｓ），单脉冲能量大于１２０ｍＪ。同时对紫外......
采用光束均匀器，改善ＸｅＣｌ准分子激光器输出光束强度的分布，其起伏优于２％，用这一装置测量了Ｃ６０薄膜的刻蚀阈值，并完成了准分子激光改变Ｃ６０薄膜电导率......
镀膜精度、材料纯度和面形将是光学制造商今后关注的重点。在过去几十年中 ,电子学、汽车甚至暗盒的制造技术都得到提高 ,但大多数......
采用溶胶－凝胶技术合成了掺杂近紫外波段激光染料ＢＰＢＤ－３６５的ＳｉＯ２基固体材料。用波长为３０８ｎｍ的ＸｅＣｌ激光器作泵浦源，横向泵浦获得了峰值波长为３６４ｎｍ的激光输出。在......
2001020029电阻激光刻槽机的实时控制系统[中]/谢志平… //光电子技术与信息.-1998,11(6).-24—28
2001020029 Resistance laser ......
目前激光微型加工主要用于微电子学、微型机械加工、微光学领域，本文对它在这几方面的应用情况及其他方面的前景作一介绍。1 微电......
准分子器件重复频率高于千赫兹时,闸流管作为传统的放电开关由于寿命瓶颈而不能满足长期稳定工作的要求。采用固体开关结合磁脉冲......
对用于ArF准分子激光器的CaF2衬底进行了表征实验研究。采用分光光度计测量了CaF2衬底的透射光谱和反射光谱,利用激光量热法测量了......
248 nm放电抽运KrF准分子激光器在微电子学和医学等领域有重要的应用价值。在大多数应用中,激光器的最大输出效率和能量都是十分重......
摘 要：光纤光栅的切趾是光栅制作中一种非常重要的技术。提出一种简单的切趾光纤光栅的制作方法：根据准分子激光器的光斑能量分布图，......
利用ICEM软件对简化后的准分子激光器气体流道进行二维截面网格划分。基于realizable k-ε湍流模型和多参考系(MRF)模型,利用FLUEN......
为了精确控制曝光剂量,需要精确测量光刻系统的光学透射率。采用了双光路对比的方法进行透射率测量,有效地消除了准分子激光器能量......
自1960年梅曼演示第一台激光器以来,激光的医学应用几乎遍及各处。1961年激光在医学上得到了独特的应用——视网膜光凝固。眼科学......
五角大楼“星球大战”官员们在向国会递交的一份厚厚的报告中警告说,去年12月对1988财年战略防御倡议组织财政预算所规定的“重大......
过去欧洲军用激光系统的发展,主要受各欧洲国家对政治和地理考虑的影响,纯战略或战术问题的影响是次要的。本文将根据欧洲大陆的......
带有核弹头的战略核潜艇是现代化军事强国军事力量的重要组成部分。由于其具有极高的隐蔽性,可以在300～400米深水中活动数月之久,带......
氢气加石墨在XeCl(308nm)激光作用下产生了碳氢化合物CH_4、C_2H_2、C_2H_4、C_2H_6等。讨论了可能的反应动力学过程。
Hydrogen ......
利用 Kr F准分子激光器及聚酰亚胺靶在硅衬底上沉积出了类石墨薄膜。借助于 X射线光电子谱及 Raman光谱手段对薄膜微结构进行了分......
