增强吸杂相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

增强吸杂相关论文

多晶硅吸杂效能的研究

用透射电镜（ＴＥＭ），扫描电镜（ＳＥＭ）和光学显微镜研究了淀积在单晶衬底上的多晶硅层的吸杂能力，研究显示多晶硅还存在两种吸杂的效能：一是能增强内吸......

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多晶硅吸杂增强吸杂氧沉淀洁净层 Polysilicon Gettering Enhanced Gettering Oxygen Precipitati

淀积在硅片上起杂质吸除用的多晶硅的研究

在器件的高温工艺过程中多晶硅再结晶,晶粒不断地长大,多晶硅层厚因高温氧化而减薄直到完全耗尽.在多晶硅层完全去除后在硅衬底中......

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多晶硅吸杂内吸杂增强吸杂氧沉淀氧化层错洁净层 polysilicon getteringintrinsic gettering enhanced ge

增强吸杂的研究

研究了增强吸杂技术，它利用淀积在硅片背面的多晶硅的晶格无序和晶粒间界而起杂质吸除作用，同时它又能增强硅中的内吸杂。本文介绍利......

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增强吸杂多晶硅吸杂氧沉积

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