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随着科技发展,高新技术产品日益趋向集成化、超精密化和小型化。面向精密微机电系统器件的微细加工技术已经成为各国研究热点,它决......
微结构电火花加工短路、断路或电弧放电作用，降低加工效率及精度。提出将超声频振动与微细电火花加工复合，利用电极与工件之间的超声......
提出了制作微结构的超声复合加工方法，分析了超声、超声复合电火花、超声复合电解微细加工机理。用微细放电组合工艺制作了多种截形......
摩擦副表面一定规则形貌的微凹坑可以改善表面摩擦学特性，提高润滑耐磨性能。根据摩擦学理论，设计圆形微凹坑；用组合电加工方法制作阵......
分析微细电解复合超声频振动加工过程机理，提出一种微细加工新方法--超声电解复合微细加工；设计、构造并完善复合微细加工装置；研究微......
利用组合电加工方法制作的多种微细工具阴极,对多种材料进行了微细超声与微细超声电解复合加工的对比试验.结果表明微细超声电解复......
提出一种制造MEMS微器件的新技术——超声电解复合微细加工；设计微细加工工艺系统，进行一系列微细加工基础工艺试验，验证超声电解复合......
提出制作微结构的超声复合电加工方法。分析微细超声、超声复合电火花、超声复合电解微细加工过程机理。用微细放电组合技术制作多......
当前主要微型功能器件中的芯片和微型传感器都采用半导体材料制造,其中单晶硅的使用最为广泛,其加工技术的不断提升和改善,推动了......
本文概述了微细加工技术研究应用现状,介绍了超声微细加工和电解微细加工技术的原理、特点及应用,分析存在问题及研究前景,分析脉......
