多层膜光学元件相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

多层膜光学元件相关论文

极紫外光学元件表面碳污染模型的建立

为有效评估和预测在极紫外光辐照下,极紫外光刻机中残留的碳氢化合物气体在多层膜光学元件表面造成的碳污染状况,建立了光学元件表......

期刊

光学元件碳污染光学器件极紫外光刻光学表面多层膜光学元件碳沉积碳氢化合物二次电子模型

极紫外多层膜表面碳污染原子氢清洗技术研究

极紫外光刻技术(Extreme ultraviolet lithography-EUVL)是未来22nm节点以下的主流光刻技术。在曝光过程中,光刻机内部EUV多层膜表......

学位

极紫外光刻多层膜光学元件碳污染原子氢清洗技术椭圆偏光法

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