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孔壁空洞相关论文
孔壁空洞简析
讨论了造成孔壁空洞的几种原因,主要集中在掩膜与孔壁空洞的联系.另外还讨论了直接电镀技术在解决孔壁空洞上的应用.......
期刊
孔壁空洞
掩膜
直接电镀
微蚀
抗蚀剂
hole void tenting direct plating
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