富硅氮化硅相关论文
进入21世纪以来,世界经济的发展速度越来越快。环境保护和清洁能源的探索和研发是目前世界范围内的重要问题。作为一种绿色无污染......
用磁控溅射淀积掺Er氧化硅、掺Er富硅氧化硅、掺Er氮化硅和掺Er富硅氮化硅薄膜 ,室温下测量这四种薄膜的光致发光 (PL)谱 ,观察到......
采用等离子体化学气相沉积法（PECVD）制备了三种不同化学计量比的富Si的SiN薄膜，并对其光致发光及电致发光性能进行了研究。研究发现，随......
随着建立在硅材料基础上的大规模集成电路的不断发展,过高的互连和集成度带来了信号延迟和器件过热的问题,给以大规模集成电路为代......
随着半导体芯片集成度的进一步提高,以电子为信息载体的金属互联存在的RC延迟及热耗散成为制约超大规模集成电路发展的瓶颈。采用......
富硅氮化硅和游离态（free-standing）硅纳晶材料分别在电致硅基光源和生物标签方面有着重要应用价值，但是目前在材料制备、测试表征、......
