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对膜结构相关论文

离子辅助轰击对激光烧蚀法制备非晶碳膜的影响

离子辅助轰击能有效改善非晶碳膜(a-C)的质量.用脉冲激光(532nm,3.5×10W/cm烧蚀石墨靶,同时用Ar轰击膜面,在Si(100)衬底上沉积a-C......

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离子辅助轰击激光烧蚀法制非晶碳膜重复频率质量射频功率扫描电镜脉冲激光拉曼光谱对膜结构石墨靶膜生长低气压膜面衬底

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